高純四氟化硅的制備技術研究進展
繆光武; 張金柯; 白占旗; 何雙材; 曾群; 胡欣; 劉武燦 浙江省化工研究院有限公司; 浙江杭州310023
關鍵詞：四氟化硅 制備 純化 電子氣體
摘要：四氟化硅是一種有機硅化合物合成材料,被廣泛應用于半導體行業,其需求量日益擴大,對其純度要求也越來越苛刻。本文介紹了四氟化硅常用制備方法及其優缺點,列舉了四氟化硅的純化方法。在實際生產過程中,企業需根據自身實際生產情況選擇合理的生產路線,結合制備工藝中雜質種類,選擇合適純化方法,獲得高純四氟化硅產品。
浙江化工雜志要求:
{1}作者姓名置于論文題目下,居中書寫。作者工作單位、職稱等用“?”號注釋在文章首頁下端。
{2}在三審終審制下，本刊對所有符合基本學術規范、具有基本學術價值的文章，無論錄用與否，均會提出書面審查意見和修改建議。
{3}文章題目要確切地反映本文的特定內容。所有稿件均應附英文文題，中英文題目必須一致。
{4}同一作者同一年份的篇目以小寫的“a,b,c”加以區分并注意與夾注相統一，如（程工1998a），（程工 1998b）。
{5}英文摘要應與中文摘要基本對應，亦可略有擴展。摘要中不應有圖、表、化學結構式、參考文獻、非公知公用的符號和縮寫。
注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
