飛秒激光直寫技術制備功能化微流控芯片研究進展
史楊; 許兵; 吳東; 肖軼; 胡衍雷; 姚成立 中國科學技術大學工程科學學院; 安徽合肥230026; 合肥師范學院化學與化學工程學院; 安徽合肥230601; 南通職業大學機械工程學院; 江蘇南通226007
關鍵詞：激光技術 飛秒激光 微流控芯片 微管道 多功能應用
摘要：飛秒激光具有獨特的超短脈寬和極高的峰值強度,飛秒激光直寫技術已廣泛用于功能化微流控芯片的制備。從3個方面針對基于飛秒激光直寫技術的微流控芯片進行綜述:不同材料微流控芯片中的飛秒激光功能器件集成技術、飛秒激光集成微流控芯片的多功能應用以及微流控芯片的高效率飛秒激光加工技術。通過對飛秒激光直寫技術在微流控領域的研究結果進行總結與歸納,為飛秒激光直寫技術制備微流控芯片的研究、應用及發展方向提供參考。
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