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多叉指Rayleigh波器件的建模及特性研究
關(guān)鍵詞：多叉指換能器 rayleigh波 有限元分析 三維建模 模態(tài)分析
摘要：針對目前改變Rayleigh波器件中波的傳播方向和強度較復(fù)雜的問題,提出了一種多叉指Rayleigh波器件結(jié)構(gòu)和三維建模方案。該三維建模方案用有限元分析法去逼近實際器件的壓電基片和叉指換能器等真實器件結(jié)構(gòu)和尺寸。選取壓電基片材料為128°YX-LiNbO3、叉指換能器為Al電極,分別對叉指換能器數(shù)目為4、6、8的多叉指Rayleigh波器件進行三維模型實驗,驗證了該器件的可行性。實驗結(jié)果表明,多叉指Rayleigh波器件可以在不同角度激發(fā)Rayleigh波,該波只有x、y方向的質(zhì)點位移分量,且質(zhì)點的最大位移主要集中在器件表面的中心位置。此外,器件的模態(tài)頻率和質(zhì)點最大位移隨著叉指換能器數(shù)目的增加而增大,由此產(chǎn)生的Rayleigh波強度和器件的混合性能也會增強。
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