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聲表面波陀螺儀研究進(jìn)展

王文; 邵秀婷 中國科學(xué)院聲學(xué)研究所; 北京100190; 山東師范大學(xué); 山東濟南250014

關(guān)鍵詞:聲表面波陀螺儀 聲表面波陀螺效應(yīng) 慣性導(dǎo)航 哥氏力 

摘要:高精度的慣性導(dǎo)航系統(tǒng)是水下航行器順利完成水下作業(yè)的關(guān)鍵之一,陀螺儀作為一種重要的慣性敏感元件,是構(gòu)成慣性導(dǎo)航系統(tǒng)的基礎(chǔ)核心器件。基于聲表面波陀螺效應(yīng)的新型陀螺儀具有優(yōu)良的抗振能力、良好的可靠性與穩(wěn)定性等特點而引起人們的濃厚興趣,在大沖擊等惡劣環(huán)境具有良好的應(yīng)用前景。本文對聲表面波陀螺儀的研究進(jìn)展進(jìn)行回顧,特別介紹了一種設(shè)置金屬點陣的陀螺效應(yīng)增強模式SAW陀螺儀。該結(jié)構(gòu)由在同一壓電晶體上反向設(shè)置的兩個SAW傳感器件構(gòu)成,在其叉指換能器中間分布有金屬點陣。結(jié)合層狀介質(zhì)中聲波傳輸特性的研究方法對壓電晶體及金屬點陣參數(shù)對傳感器響應(yīng)特性的影響進(jìn)行建模分析,設(shè)計并實驗研制了工作頻率為30MHz、80MHz及95MHz的SAW陀螺儀。實驗結(jié)果表明,該結(jié)構(gòu)陀螺儀實現(xiàn)了良好的溫度補償特性,并通過在SAW傳播路徑上合理設(shè)置的金屬點陣,大幅提升了傳感器的檢測靈敏度。

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