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國內外集成電路裝備現狀分析
傅翠曉 上海市科學學研究所
關鍵詞：集成電路產業 制造業水平 競爭態勢 集成電路裝備 夯實基礎
摘要：集成電路(integrated circuit,IC)裝備作為集成電路產業發展的關鍵基礎,己成為高技術裝備產業的典型代表。一個國家集成電路裝備制造業水平的高低,決定了整個集成電路產業的發展水平。本文結合全球集成電路裝備產業鏈條,解析全球及我國集成電路裝備的技術體系及競爭態勢。分析發現,我國集成電路裝備發展快速,但短板仍很明顯,應進一步夯實基礎,加快提升創新步伐。
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