薄膜光學微金字塔結構陣列的制備研究
葛少博; 劉衛國; 周順; 李世杰; 黃岳田 西安工業大學光電工程學院/陜西省薄膜技術與光學檢測重點實驗室; 西安710021; 中國科學院光電技術研究所; 成都610209
關鍵詞：微金字塔結構 等效折射率 單點金剛石車削 納米壓印 電感耦合等離子體刻蝕
摘要：為了解決薄膜光學微結構中等效折射率梯度分布的問題。本文研究了輪廓漸變的薄膜微金字塔結構陣列,分析了微金字塔結構的典型制備工藝,提出了一種單點金剛石車削,結合納米壓印與電感耦合等離子體刻蝕技術的制備方法。實驗結果表明:單點金剛石飛切形成的金字塔結構單元的尺寸可以在1~10μm之間進行調控,切削5min可以形成直徑12.5mm的微結構成型區域;納米壓印技術與電感耦合等離子體刻蝕方法的結合,實現了薄膜光學微金字塔結構陣列的制備。
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