基于COMSOL的氣敏薄膜初始電阻模擬計算
張子立; 殷晨波 金陵科技學院機電工程學院; 江蘇南京211169; 南京工業大學機械與動力工程學院; 江蘇南京211816
關鍵詞：叉指電極 氣敏薄膜 初始電阻 微分方程
摘要：叉指電極可有效降低金屬氧化物半導體氣敏薄膜的測試電阻,有利于薄膜氣敏性能的測量,已廣泛用于薄膜型氣體傳感器上。而叉指電極的尺寸不僅會影響傳感器表面的熱量分布,也會對薄膜初始電阻造成影響。提出了解微分方程法計算叉指電極上氣敏薄膜的初始電阻,推導了計算薄膜初始電阻的微分方程,采用COMSOL軟件中的AC/DC模塊,對特定尺寸叉指電極上的氣敏薄膜在不同工作溫度時初始電阻進行了仿真,并與實驗進行了對比,證明了該方法的可行性。
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