垂直耦合懸空型氮化硅微盤光學傳感器
關鍵詞：光學微腔 懸空型微盤 集成光學 傳感器
摘要：提出了一種垂直耦合型懸空氮化硅微盤諧振型傳感器,該傳感器由一個底部非懸空的接入波導和一個頂部懸空的微盤腔組成,并用實驗證明了其具有較高的器件靈敏度和良好的機械穩(wěn)定性。對于半徑40μm的微盤,在1548.98nm諧振波長下可以實現(xiàn)超過104的品質(zhì)因數(shù)以及大小適中、5.66nm的自由光譜范圍。該傳感器的靈敏度可通過覆蓋不同的有機液體來測量,實驗測得值約為554nm/RIU。該三維傳感器的制備與傳統(tǒng)的光刻工藝相兼容,利于大批量低成本生產(chǎn),同時憑借器件尺寸小、工藝簡單、檢測靈敏度高、響應快、免標記等特點,在國防安全、生物檢測和環(huán)境監(jiān)測等方面具有廣闊的應用前景。
計測技術雜志要求:
{1}英文摘要（Abstract：）和英文關鍵詞（Keywords:）(每一個關鍵詞用“；”分隔）。
{2}來稿須保證首發(fā)及原創(chuàng)，已發(fā)表過的論文、抄襲的論文不予采用。來稿確保不涉及保密、署名無爭議等，作者文責自負。本刊保留以法律途徑追究相關作者責任的權利。
{3}自征稿截止后一個月內(nèi)，將發(fā)出《用稿情況通知》，獲得用稿通知者，可按編輯部建議進一步修改后提交電子文稿。如在收到《用稿情況通知》前，文章已在其他公開出版物或互聯(lián)網(wǎng)上發(fā)表，請作者務必告知。
{4}文中章節(jié)編號采用三級標題頂格排序：一級標題形如…排序；二級標題形如…排序；三級標題形如…排序。
{5}投稿時請同步提供：文章所有作者姓名、工作單位、職務（職稱）、聯(lián)系方式（手機號碼、辦公電話、郵箱、通訊地址及郵編等）、個人簡介以及照片。
注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
