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石墨烯納機(jī)電諧振式傳感器研究進(jìn)展

樊尚春; 朱黎明; 邢維巍 北京航空航天大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院; 北京100191; 工信部量子傳感技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 北京100191

關(guān)鍵詞:石墨烯 諧振 納機(jī)電 傳感器 綜述 

摘要:石墨烯是一種新型的二維納米材料,因獨(dú)特的電學(xué)和力學(xué)性質(zhì)而備受關(guān)注。近年來(lái),一系列針對(duì)石墨烯諧振特性及其應(yīng)用的研究得到廣泛開(kāi)展,已顯示出石墨烯在諧振式納機(jī)電傳感器領(lǐng)域巨大的應(yīng)用潛力。簡(jiǎn)要描述了石墨烯優(yōu)異的物理性能和目前主要的幾種石墨烯制備工藝現(xiàn)狀,重點(diǎn)介紹了近期石墨諧振器的實(shí)驗(yàn)、理論研究以及石墨烯諧振器在壓力、加速度和質(zhì)量等物理量傳感器方面的應(yīng)用進(jìn)展,其中主要圍繞石墨烯諧振敏感結(jié)構(gòu)、敏感機(jī)理和研究方法等方面進(jìn)行評(píng)述,并分析了石墨烯諧振式傳感器研發(fā)所面臨的挑戰(zhàn)和發(fā)展前景。

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