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基于PVDF的壓電觸覺傳感器的研究進展

劉玉榮; 向銀雪 華南理工大學電子與信息學院∥微電子學院; 廣東廣州510640

關鍵詞:聚偏氟乙烯薄膜 觸覺傳感器 壓電 柔性 

摘要:聚偏氟乙烯(PVDF)壓電薄膜因具有柔韌性強、機械強度高、靈敏度高、頻響范圍寬等優點,在觸覺傳感器、超聲換能器等領域具有廣泛的應用前景.文中首先介紹了基于PVDF的壓電觸覺傳感器的工作原理和制作工藝,然后從器件的壓電性能優化、微結構化、集成化、柔性化、仿生化5個方面系統概述了PVDF壓電觸覺傳感器的研究現狀與發展趨勢,討論了其在機器手、微創手術、健康監測領域的應用研究與進展,最后分析了目前PVDF壓電觸覺傳感器發展的不足和未來的主要研究趨勢.

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