新型圓光柵測角誤差補償方法及其應用
于連棟; 鮑文慧; 趙會寧; 賈華坤; 張潤 合肥工業大學儀器科學與光電工程學院; 安徽合肥230009
關鍵詞：精密測量 圓光柵測角 測角誤差 諧波補償 多項式
摘要：在實際工業應用中,環境溫度變化是便攜關節式坐標測量機中旋轉軸系測角精度的主要誤差源。為了消除環境溫度對旋轉軸系測角精度的影響,本文提出了一種新型圓光柵測角誤差補償方法,即建立含有環境溫度影響因子的圓光柵測角誤差補償模型。利用諧波方法建立在特定溫度下的圓光柵測角誤差補償模型,利用多項式方法建立諧波系數與環境溫度之間的函數關系。最后,以14℃下的實驗數據為驗證數據,分別代入到傳統諧波誤差補償模型和本文提出的模型中。實驗結果表明,相對于傳統諧波誤差補償模型,使用本文提出的模型補償后圓光柵的測角精度提高4倍左右,修正后的殘差峰峰值在2″以內,能夠有效地補償10~40℃下圓光柵的測角誤差。
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