半導體光生電荷分離及遷移原位X射線光電子能譜儀表征分析系統的研制
黃曉卷; 張亞軍; 劉佳梅; 焦正波; 牛建中 中國科學院蘭州化學物理研究所公共技術服務中心; 甘肅蘭州730000; 中國科學院蘭州化學物理研究所羰基合成與選擇氧化國家重點實驗室; 甘肅蘭州730000
關鍵詞：x射線光電子能譜儀 半導體 光生電荷
摘要：在確保X射線光電子能譜儀(XPS)原有超高真空系統及性能指標的基礎上,設計并研制出一套適用于半導體光生電荷分離及遷移的原位XPS分析測試系統.將XPS與半導體光照體系相結合,實現了外載激發光源與X射線同步照射于半導體表面,觀測并記錄樣品中特征元素結合能峰位數據.通過對比光照前后結合能峰位變化,判定光致激發半導體材料光生電荷分離及遷移的方向及確定其量化數據.
分析測試技術與儀器雜志要求:
{1}論文中計量單位、外文字母應用準確，插圖和照片應清晰。
{2}文稿務求論點明確、文字精練、數據可靠。
{3}投稿后3個月內，未收到錄用通知，作者可自行處理。未被錄用的稿件一般不退稿，請自留底稿。
{4}內文中的文字論述清楚明了，要使用規范詞語。
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