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關鍵詞：垂直螺旋式電感 集總參數 ltcc q值 

摘要：采用低溫共燒陶瓷技術(Low Temperature Co-fired Ceramic,LTCC)建立多層垂直螺旋式電感模型,系統研究了如何在保證垂直螺旋式電感體積優勢的條件下提高電感的Q值;通過集總參數等效,實現垂直螺旋式電感模型感值及Q值的準確提取.在垂直螺旋式電感感值為12 nH的條件下,詳細分析了金屬線寬、金屬線圈層數及金屬線圈離地距離對電感Q值的影響.最終將垂直螺旋式電感的Q值由原來的32提高到70以上,實現了多層垂直螺旋式電感Q值的提高.

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