關(guān)鍵詞:cvd sic 微觀結(jié)構(gòu)
摘要:利用低密度的C/C復(fù)合材料為沉積基體,通過化學(xué)氣相沉積法制備氣相生長SiC,分析并研究了不同沉積位置和反應(yīng)物濃度下氣相生長SiC的微觀形貌和物相組成.結(jié)果表明,隨著反應(yīng)物氣體濃度的降低,多孔C/C復(fù)合材料基體上氣相生長的SiC的微觀結(jié)構(gòu)呈區(qū)域性變化,SiC薄膜依次向SiC薄膜和顆粒、SiC短棒、SiC納米線轉(zhuǎn)變.探討了不同反應(yīng)物濃度氣氛中過飽和度誘導(dǎo)原子遷移和氣相分子吸附的過程,并提出一個SiC的生長模型.
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