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關(guān)鍵詞：多位相光柵分光器 模擬退火優(yōu)化算法 光互連 

摘要：設(shè)計了二維多位相光柵分光器的位相結(jié)構(gòu),并根據(jù)周期性位相結(jié)構(gòu)推導(dǎo)出位相光柵的二維分光公式,使用模擬退火優(yōu)化算法對二維8×16四位相光柵分光器的位相結(jié)構(gòu)進行了優(yōu)化設(shè)計,得到了二維分光效率為70.03%、不均勻度僅為4.6×10-4的位相光柵。將優(yōu)化計算得到的位相分布結(jié)果進行拆分,制作了光刻版,利用光刻版套刻制作了四位相光柵分光器樣品,并搭建光路對樣品的分光性能進行了測試,結(jié)果表明,多位相結(jié)構(gòu)能顯著提高光柵的分束效率和均勻性。

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{5}摘要中不出現(xiàn)圖、表、化學(xué)結(jié)構(gòu)式和非公知用的符號和術(shù)語，也不宜引用文中圖、表、公式和參考文獻的序號。關(guān)鍵詞一般選用3～5個敘詞，中英文相一致。

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